Sistema de medição de dimensões críticas NEXIV VMZ-S

do campo de visão (FOV)de distânciade coordenadas

Visão geral do produto
A série NEXIV VMZ‑S da Nikon consiste em sistemas de medição por vídeo para inspeções dimensionais e de altura em aplicações industriais. Disponível em três envelopes de medição (VMZ‑S3020, VMZ‑S4540, VMZ‑S6555), seis tipos de óticas/zoom e com laser de varredura TTL como padrão.

Velocidade e precisão

• AF laser TTL permite varredura de altura em alta velocidade até 1.000 pontos/s para obtenção rápida de perfis de superfície.
• Leitura mínima 0,01 µm e repetibilidade do AF laser 2σ ≤ 0,5 µm para medições rastreáveis.
• Projetado para fluxos de inspeção contínuos com medição automática tolerante a variações de posicionamento das peças.

Destaques do produto

• Seis tipos ópticos (Type 1, 2, 3, 4, TZ, A) cobrindo diversos campos de visão e ampliações; Type 1–3 priorizam baixa distorção e alto NA, Type 4 e TZ suportam altas ampliações.
• Iluminador de anel em 8 segmentos com múltiplos ângulos de incidência (LED branco) para melhor captura de bordas; modos de iluminação dependentes do tipo: episcópico, diascópico e campo escuro.
• Possibilidade de detetar camadas transparentes de ~0,1 mm com AF laser TTL (não disponível para Type A).
• Sondas de imagem e opções de sondagem com baixos erros de sondagem para medição de detalhes finos (P_FV2D,MPE 0,3 µm; P_F2D,MPE 0,8 µm).

Recursos principais

• Medidas dimensionais de alta precisão e alta velocidade em diferentes ampliações com óticas de alto NA.
• Estratégias de iluminação flexíveis e opções específicas para medir arestas difíceis e geometrias complexas.
• Câmera 1/3" CMOS monocromática ou colorida e zoom óptico contínuo para fluxos de inspeção.
• Integração com software de medição Nikon e SDKs opcionais para automação e gestão de dados.

Especificações (resumo)
Modelo | VMZ‑S3020 | VMZ‑S4540 | VMZ‑S6555
Curso XYZ | 300 × 200 × 200 mm (TZ baixa ampliação: 250 × 200 × 200 mm) | 450 × 400 × 200 mm (TZ baixa ampliação: 400 × 400 × 200 mm) | 650 × 550 × 200 mm (TZ baixa ampliação: 600 × 550 × 200 mm)
Leitura mínima | 0,01 µm (todos os modelos)
Peso máximo da amostra | 20 kg (precisão garantida: 5 kg) | 40 kg (precisão garantida: 20 kg) | 50 kg (precisão garantida: 30 kg)
Erro máximo admissível (MPE) | EUX/EUY, MPE = 1,2 + 4L/1000 µm; EUXY, MPE = 2,0 + 4L/1000 µm; EUZ, MPE = 1,2 + 5L/1000 µm
Erro de sondagem | P_F2D,MPE = 0,8 µm; P_FV2D,MPE = 0,3 µm
Câmera | 1/3" CMOS (PB / cor)
Distância de trabalho | Type 1–3: 50 mm; Type 4: 30 mm; Type TZ: (alto aumento) 11 mm / (baixo) 32 mm; Type A: 73,5 mm (63 mm com Laser AF)
Repetibilidade AF laser | 2σ ≤ 0,5 µm
Iluminação | Episcópico, diascópico, anel segmentado de 8 com múltiplos ângulos (LED branco); opções de campo escuro conforme o tipo
Alimentação / consumo | AC100–240 V, 50/60 Hz / 2–4 A
Dimensões e massa | Consultar dados por modelo (estrutura principal e controlador).

Especificações técnicas

• Série: NEXIV VMZ‑S (VMZ‑S3020, VMZ‑S4540, VMZ‑S6555).
• Leitura mínima: 0,01 µm.
• AF laser TTL: varredura até 1.000 pontos/s; repetibilidade 2σ ≤ 0,5 µm.
• Precisão de sondagem: P_FV2D,MPE 0,3 µm; P_F2D,MPE 0,8 µm.
• Iluminação: episcópico, diascópico, anel segmentado; opções de campo escuro para tipos selecionados.
• Câmera: 1/3" CMOS (PB / cor).
• Alimentação: AC100–240 V, 50/60 Hz.
• Área de instalação e massa: variam por modelo; consultar dimensões por modelo para planeamento.