Sistema de medição de dimensões críticas NEXIV VMF-K series

de distânciadimensionalóptico

Visão geral
A Série NEXIV VMF-K da Nikon é um sistema de medição por vídeo confocal que combina imagem 2D de alta velocidade e medição de altura confocal (3D) no mesmo campo de visão. Destina-se a fluxos de trabalho em semicondutores e engenharia de precisão, como inspeção de probe cards, WLP, produção de substratos e inspeções de componentes miniaturizados.

Principais benefícios

• Maior rendimento: aproximadamente 1,5× de melhoria em relação a modelos anteriores para medições combinadas 2D/altura.
• Aquisição simultânea 2D (bright-field) e medição confocal de altura num único fluxo de trabalho, reduzindo o tempo de inspeção.
• Fonte de luz confocal Green LED com longa vida (~30.000 horas), substituindo o xenon para melhor estabilidade e manutenção.
• Medição estável em amostras de alto contraste, altamente reflexivas e muito transparentes/finas.
• Suporte para medições de grandes dimensões (além de um único campo de visão) e estratégias de medição baseadas em coordenadas.

Destaques do produto

• Óptica Bright Field integrada com zoom motorizado de 5 posições e medição confocal de altura para estruturas finas.
• Cabeça 45× de alto aumento padrão para características ultrafinas em semicondutores (< 2 µm).
• Iluminação por LED: White LED para Bright Field e Green LED para varreduras confocais de altura.
• Opções de autofocus: TTL Laser AF e Image AF.
• Melhorias de usabilidade: remoção facilitada da cobertura da cabeça e indicador LED frontal no cabeçote.

Modelos e áreas de aplicação
A família NEXIV VMF-K abrange várias dimensões de curso e necessidades de produção:

• NEXIV VMF-K3040 — cursos XYZ 300 × 400 × 150 mm: aplicações de curso médio, inspeção de probe cards.
• NEXIV VMF-K6555 — cursos XYZ 650 × 550 × 150 mm: maior capacidade de mesa para substratos, wafers maiores e probe cards maiores.

Casos de uso representativos

• Inspeção de probe cards: captura 2D/altura simultânea em um único FOV, maior rendimento e capacidade de medição de grandes dimensões.
• Inspeção de wafers e WLP: objetiva 45× para metrologia de características ultrafinas; o sistema confocal trata camadas refletivas e transparentes.
• Produção de substratos e QA de precisão: medição fiável de amostras finas/transparentes e medições coordenadas em grandes dimensões.

Notas sobre óptica e método de medição
O sistema combina imagem Bright Field 2D e varredura confocal de altura num único fluxo de medição. A varredura confocal suporta altura máxima de 1 mm. A óptica Bright Field dispõe de um zoom motorizado de 5 posições para cobrir uma ampla gama de campos de visão e ampliações. O caminho confocal fornece alta resolução em altura e boa repetibilidade para inspeções 3D exigentes.

Especificações técnicas (seleção)

• Nome da série: NEXIV VMF-K Series
• Opções de cabeça de medição: Standard head (Type-S), High-magnification head (Type-H), 45× High-magnification head
• Ampliações ópticas (exemplos): 1.5×, 3.0×, 7.5×, 15×, 30×, 45×
• Distâncias de trabalho (exemplos): 24 mm (1.5×/3.0×), 5 mm (7.5×/30×/45×), 20 mm (15×)
• Altura máxima de varredura confocal: 1 mm
• Campo confocal (exemplos): 7.80×5.82 mm → 0.26×0.19 mm (varia com cabeça/ampliação)
• Repetibilidade de medição de altura (2σ) exemplos: 0.6 µm, 0.35 µm, 0.25 µm, 0.20 µm
• Resolução de altura: tip. 0.025 µm; até 0.01 µm em modos de alta resolução
• Fontes de luz: Confocal = Green LED; Bright Field = White LED
• Autofocus: TTL Laser AF e Image AF
• Alimentação: AC 100–240 V ±10%, 50/60 Hz; consumo aprox. 3–5.5 A conforme configuração
• Modelos representativos & cursos: VMF-K3040 = 300×400×150 mm; VMF-K6555 = 650×550×150 mm
• Capacidade de carga garantida (precisão): VMF-K3040 ≈ 20 kg; VMF-K6555 ≈ 30 kg
• Menor leitura / resolução digital: 0.01 µm
• Área de instalação recomendada (ex.): VMF-K3040 ≈ 3150×3000 mm; VMF-K6555 ≈ 3200×3300 mm