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Sistema de medição de diâmetro NEXIV VMZ-NWL200
de posiçãode dimensões críticasdimensional

Sistema de medição de diâmetro - NEXIV VMZ-NWL200 - Nikon Metrology - de posição / de dimensões críticas / dimensional
Sistema de medição de diâmetro - NEXIV VMZ-NWL200 - Nikon Metrology - de posição / de dimensões críticas / dimensional
Sistema de medição de diâmetro - NEXIV VMZ-NWL200 - Nikon Metrology - de posição / de dimensões críticas / dimensional - imagem - 2
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Características

Grandeza física
de diâmetro, de posição, dimensional, de dimensões críticas
Tecnologia
óptico, de visão industrial, mediante câmera, de vídeo
Modo de funcionamento
automático
Produto medido
para wafers, para semicondutor
Aplicações
para aplicações industriais, para eletrônica, para linha de produção, para controle da qualidade
Outras características
de alta precisão, de alta velocidade

Descrição

Visão geral
O VMZ-NWL200 é um sistema automático de medição de wafers que integra o sistema de medição por vídeo NEXIV com o carregador de wafers NWL200. Com processamento de imagem avançado, realiza medições automáticas, de alta velocidade e alta precisão em wafers de 6 e 8 polegadas em carriers, fornecendo dados adequados para controlo de processo na indústria de semicondutores.

Confiabilidade, eficiência e operabilidade
  • Alta confiabilidade: medições totalmente automáticas e repetíveis que reduzem a variação entre operadores; óptica avançada fornece imagens nítidas para detecção precisa de arestas.
  • Alta eficiência: inspeção iniciada com um clique; produtividade de medição significativamente superior à de microscópios de medição convencionais, reduzindo o custo de propriedade.
  • Boa operabilidade: a GUI exibe a imagem do wafer e permite selecionar chips por clique; o software dedicado simplifica fluxos de trabalho de controlo de processo e acelera o feedback para a produção.

Destaques do produto
  • Célula de medição integrada combinando o sistema de vídeo NEXIV e o carregador automático NWL200.
  • Inspeção automática e segura de wafers de 6" e 8" carregados em carriers.
  • Medição de alta velocidade e alta precisão projetada para controlo de processo e requisitos Quality 4.0.

Principais características
  • Manuseio e medição automáticos de wafers 6" e 8" em carriers, incluindo funções de transferência e posicionamento.
  • Programas de inspeção robustos com criação, execução e armazenamento, com rastreabilidade completa.
  • Contribui para melhoria de rendimento ao fornecer rapidamente dados de medição de alta qualidade aos sistemas de controlo de produção.
  • Seleção de chips e configuração de medição via GUI para simplificar tarefas do operador.

Especificações técnicas
  • Equipamento: Sistema de medição por vídeo – NEXIV (VMZ-S3020 Type2 / Type3 / TypeTZ); Carregador – NWL200
  • Tamanho do wafer: 6 polegadas, 8 polegadas (padrão SEMI/JEIDA)
  • Carriers compatíveis: 6" – PA182-60MB-06XX (Entegris); 8" – PA192-80M-06XX (Entegris)
  • Rendimento (referência de transferência): 6 min 45 s para 25 wafers (exclui tempo de medição)
  • Mínimo L/S: 500 linhas/mm
  • Temperatura de operação: 19–26 °C
  • Umidade de operação: inferior a 70 % RH
  • Dimensões (L x P): 4125 x 3040 mm
  • Tensão de alimentação: AC 100–120 V / 200–240 V
  • Frequência: 50 Hz / 60 Hz
  • Consumo de corrente: 7.5 A / 3.7 A
  • Vácuo: -80 kPa

Notas
  • *1 Avaliação de transferência de wafer necessária antes da venda.
  • *2 O tempo de transferência indicado refere-se a 25 wafers e não inclui o tempo de medição.

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* Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.