Medidor de espessura estacionário Element™

de filme plásticocom display digitalcom calibração automática

A única ferramenta no mercado com a combinação única de tecnologia baseada em transmissão e reflexão. Este sistema é o padrão da indústria para a monitorização dieléctrica. Visão Geral do Produto O sistema Element é a ferramenta de registo para fornecedores de wafers para cartografia de alta velocidade de impurezas e medição da espessura da epinefrina. É a única ferramenta no mercado com a combinação única de tecnologia baseada em transmissão e reflexão. Este sistema é o padrão da indústria para monitorização dieléctrica. Colaborámos com fornecedores de bolachas para melhorar ainda mais as características críticas das bolachas como a espessura da camada de epinefrina, a resistividade da camada de epinefrina e a resistividade a granel utilizando a técnica baseada na reflexão da Onto Innovation. A transmissão do sistema Element é um método clássico e directo que proporciona a melhor sensibilidade para a monitorização de dieléctricos como BPSG, FSG, H em SiN, etc. A aprendizagem da máquina é utilizada para eliminar a utilização de bolachas de monitorização para medição dieléctrica. Os sistemas baseados apenas na reflexão não têm sensibilidade à maioria destes dieléctricos. Aplicações - Espessura da camada de epinefrina - Espessura da zona de transição - Epinefrina e resistividade do substrato - Dispositivo de energia - Resistividade a granel - Exclusão de bordos - Oxigénio intersticial e carbono de substituição - BPSG - Teor de boro e fósforo das camadas de BPSG - FSG - Conteúdo flúor do FSG - SiN - Mede o hidrogénio em películas de nitreto de silício - HSQ - Teor de hidroxilo e hidrogénio em óxidos SOG, FOX - SiON - Oxigénio, azoto e hidrogénio em SiON - SiCN - Carbono em SiCN - SiOC - Carbono em SiOC - Oxygendose - Medição da dose de implante de oxigénio no processo SIMOX - Precipitado de oxigénio - Medição de precipitados de oxigénio em substratos de Si