Sistema de metrologia para semicondutores QS1200™

para wafers

A ferramenta de metrologia QS1200 FTIR é um sistema de mesa para monitoramento de dopantes, medição de espessura de epinefrina e outras aplicações Visão Geral do Produto O sistema QS1200 foi projetado especificamente para a fabricação de semicondutores avançados que realizam a caracterização de materiais em áreas de cultivo de silício e fabricação de dispositivos. Fornece um novo nível de integração da técnica FTIR utilizando tecnologia ótica comprovada, e uma bandeja de wafer manual para acomodar wafers padrão SEMI de 100, 125, 150, 200, e 300mm de diâmetro. Peças de wafer de forma estranha, e fatias de silicone de 2mm de espessura também podem ser usadas no sistema QS1200.