Capacidade de produção: 5000-12000 wafer/hora (personalizável de acordo com diferentes requisitos de capacidade de produção)
Taxa de quebra: ≤0,01%
Tempo de atividade: ≥98,5%
Caraterísticas:
Remoção de película SixNy&Al2O3 para células solares de alta eficiência TOPCon, BC, HJT
Sequência de processo flexível
Enxaguamento e secagem eficientes
Elevado rendimento, baixo CoO
Equipamento inteligente, estatísticas de consumo de energia e função de análise
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