Capacidade de produção: 4000-9000
Taxa de quebra: 0.04%@182; 0.05%@210
Tempo de atividade: ≥99%
Caraterísticas:
Inserção opcional de manipulador Stäubli ou FANUC
Estrutura global segmentada em aço soldado, estrutura estável e fiável
Deteção visual de deformação e posicionamento de barco de grafite opcionais
Suporte para interface MES e função de depuração remota
Interface IGV inteligente
Deteção online de AOI e PL
Equipamento inteligente, estatísticas OEE e análise do consumo de energia
Wafers compatíveis de M10, M12 e 220-230mm, tamanho completo e meio tamanho
---