Sistema de carregamento para materiais a granel

automático

O desenho modular que consiste em Multi Lane Loader, Metrology e Cell Diverter permite uma adaptação óptima da Linha de Células de Carga ao rendimento, número de vias e requisitos de espaço. Para o processo celular seguinte, os wafers são transferidos de uma ou duas pistas de alimentação para dez pistas ou de uma pista para cinco pistas. Para acomodar exigências de controlo de qualidade mais elevadas, podem ser adicionadas opções de inspecção adicionais aos sistemas (reconhecimento de furos e fissuras, medição de superfície, vida útil e medição de resistência). Controlo de qualidade antes do início do processo Maior capacidade de produção de até 7600 wafers por hora Adequado para sistemas de processamento de até dez pistas Remoção de rupturas antes dos sistemas de metrologia