Sistema de feixe de íons focalizado GCIB 10S

O GCIB 10S é projetado para o melhor desempenho de perfilamento de profundidade em combinação com XPS e outros sistemas de análise de superfície. Os feixes de íons de cluster permitem a análise de perfilamento em profundidade de polímeros com perda mínima de informações químicas devido ao dano do feixe de íons. Isto é crucial na análise de estruturas multicamadas modernas, como em OLED, bio-médicos, dispositivos de revestimento sensíveis ou outras superfícies de polímeros, mas também mostra uma melhoria acentuada na análise de materiais bem estabelecidos que podem se degradar durante o perfil normal com Ar1. Além de usar a fonte de íons do cluster de argônio em combinação com novos sistemas XPS, o GCIB 10S também pode ser facilmente integrado a sistemas UHV existentes com um flange NW63CF adequado para a amostra. Ele fornece um meio econômico de atualizar XPS, SIMS ou outros sistemas para usar a pulverização catódica de feixe de cluster para limpeza de amostras ou análise de perfil de profundidade.