Espectrômetro de fotoelétrons NanoSAM Lab

de processoMCPAuger

UHV Gêmeos Gêmeos Coluna Eletrônica: maior resolução espacial menor tamanho de ponto de e-beam desempenho único de baixo consumo de energia sEM eficiente com in-lens SED NanoSAM Analisador de Electrões resolução variável de energia excelente sensibilidade, detecção multicanal Manipulação de amostras: tamanho flexível da amostra temperatura variável da amostra (50-500K) inclinação da amostra 60 O NanoSAM Lab é a ferramenta definitiva para a análise de pequenas estruturas. Impulsionado pelo desempenho único da coluna de electrões UHV Gemini, garante uma resolução incomparável abaixo de 5 nm em Microscopia de Varredura de Auger (SAM) e melhor que 3 nm em SEM. Em contraste com outras ferramentas Auger, a resolução extremamente boa não está disponível apenas com energia de feixe de 20 keV padrão, mas mesmo com 5 keV a resolução SAM permanece abaixo de 10 nm. Isso permite a operação em uma faixa de parâmetros onde as seções transversais da broca são altas e bem documentadas para análise quantitativa.