Magnétron que engasga o cátodo: Cilindro ou tipo planar;
Fonte de alimentação: C.C. do pulso, MF, RF
Fonte de íon: geralmente para peças do plástico/as de vidro/as cerâmicas/metal para o fulgor que descarrega-se, limpeza do plasma.
Fonte de alimentação diagonal: trabalha somente nas partes condutoras do trabalho: aço, ferro, liga de aço, zamak, liga de alumínio, bronze etc.
Pacote da bomba de vácuo: A bomba de aleta giratória, bomba de pistão giratório, enraíza a bomba, a bomba de difusão/bomba molecular do turbocompressor, guardando a bomba etc.
Outro: Bloqueie vales/calibres de vácuo, MFC, encaixes do vácuo e linha tranquila do vácuo, alimentação completamente,
3. O equipamento do revestimento da série de RTSP é usado para a produção de revestimentos funcionais condutores, não-condutores, finalidade estética.
A. Aplicação: Revestimentos de ITO no vidro para telas tácteis, exposições; vidro arquitetónico; indústria automóvel: rodas & bordas de carro, espelhos de carro, lâmpadas principais, luzes da cauda, interior plástico & exteriores; utensílios de mesa & kitchenware, joia, esporte e brinquedos, substituição degalvanização.
B. materiais de revestimento:
Metais: Si (titânio), cromo do Cr), Zr (zircônio), Cu (cobre), Al (alumínio), Ni (níquel),
SUS316 (de aço inoxidável)…
Ligas do metal: Liga do Si-Al, liga de Ni-CA (níquel - cádmio), ITO (óxido da lata do índio)
Métodos de C. Engasgar: DC/MF/RF
D. Característica: depósito de baixa temperatura