Regulador de vazão de massa MFC series

para gáseconômicocompacto

Visão geral
A série MFC inclui controladores de fluxo mássico para gases não corrosivos, cobrindo várias faixas de vazão e aplicações industriais. As interfaces padrão incluem analógica e RS485 Modbus; opções de barramento (DeviceNet, ProfiNet, EtherNet, EtherCat, IO-Link) estão disponíveis conforme a série.

MFC2000

• Controladores de fluxo mássico de uso geral
• Faixa full-scale: 50 mLn/min a 200 Ln/min
• Interfaces: analógica e RS485 Modbus; opções de barramento industriais

MFC4000

• Projetado para controle de gases não corrosivos
• Faixa full-scale: 50 mLn/min a 1000 mLn/min
• Formato compacto para instrumentação e dispositivos portáteis
• Interfaces: analógica e RS485 Modbus; barramentos opcionais

MFC5100M

• Faixa full-scale: até 100 Ln/min
• Tela sensível ao toque integrada para funções básicas
• RS485 Modbus disponível; outras opções de comunicação listadas

MFC5000

• Série compatível com normas SEMI para controle de processo
• Amplo suporte de comunicação por barramento: DeviceNet, ProfiNet, EtherCat, IO-Link, etc.
• Faixa dinâmica 100:1; controle de pressão 0.1–1 MPa (15–150 PSI)
• Faixa de temperatura compensada: 0–50°C; capacidade de operação em vácuo

MFC1100

• Controle de vazões elevadas: full-scale 20–50 Ln/min
• Saídas de controle: analógica (0–5 Vdc ou 4–20 mA) e RS485 Modbus para controle de válvula proporcional
• Faixa dinâmica 100:1; pressão 0.1–0.8 MPa (15–117 PSI); temperatura compensada 0–55°C
• Aplicações típicas: fornecimento digital de anestesia, gases de soldagem

MFC1600

• Carcaça econômica em liga de alumínio
• Projetado para controle de fluxos muito baixos de gases não corrosivos
• Interfaces: analógica e RS485 Modbus
• Faixa de pressão: 0.1–0.8 MPa (15–120 PSI); temperatura compensada 0–50°C
• Aplicações típicas: deposição de filmes finos, equipamentos médicos

Especificações / características técnicas

• Família de produtos: MFC (Mass Flow Controllers) para gases não corrosivos
• Interfaces comuns: Analógica, RS485 Modbus; opcionais DeviceNet, ProfiNet, EtherNet, EtherCat, IO-Link
• Faixas de vazão: desde níveis mLn/min até 1000 mLn/min dependendo do modelo
• Faixa dinâmica: até 100:1 (dependendo do modelo)
• Faixas de pressão: por exemplo 0.1–0.8 MPa e 0.1–1 MPa (dependendo do modelo)
• Faixas de compensação de temperatura: por exemplo 0–50°C e 0–55°C (dependendo do modelo)
• Formatos: opções compactas para instrumentação; carcaças econômicas em liga de alumínio
• Aplicações típicas: controle de processo, instrumentação/dispositivos portáteis, deposição de filmes finos, equipamentos médicos, fornecimento digital de gases, gases de soldagem