Os controladores de caudal mássico de gás da série MFC5000 são fabricados em conformidade com as normas SEMI para as aplicações relevantes. O produto oferece uma vasta gama de opções de comunicação por barramento, incluindo DeviceNet, ProfiNet, EtherCat e IO-Link. Estas interfaces também podem ser personalizadas mediante pedido. O MFC5000 foi concebido para controlo de processos, apresentando uma gama dinâmica de 100:1. Controla a pressão na gama de 0,1 a 1 MPa (15 a 150 PSI) e uma gama de temperatura compensada de 0 a 50 °C. O dispositivo também pode funcionar em condições de vácuo.
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