Interferômetro para aplicações OEM SP 5000 DI/DS

para medição de deslocamentopara medição de comprimentoóptico

Descrição
O SP 5000 DI/DS combina o princípio do interferômetro diferencial com um interferômetro multi‑feixe para fornecer medições simultâneas e muito estáveis de comprimento e ângulo (inclinação). Essa configuração permite detectar deslocamentos extremamente pequenos e pequenas inclinações em áreas amplas, reduzindo a sensibilidade a efeitos térmicos e ambientais.

Principais características

• Sistema de medição diferencial deslocamento‑ângulo por interferometria laser de quatro feixes
• Medições diferenciais de comprimento e ângulo de arfagem altamente estáveis
• Projetado para integração em mesas XY e espelhos planos
• Espaçamento de feixes: 15 mm (medição de comprimento) e 6 mm (medição de ângulo)
• Sensibilidade térmica extremamente baixa < 20 nm / K
• Versões OEM e para vácuo disponíveis mediante solicitação

Aplicação e uso
O interferômetro destina‑se à montagem em espelhos planos ou como sistema de medição incorporado; a operação com refletores é possível. O alinhamento é realizado por componentes ópticos ultra‑estáveis integrados no percurso do feixe, garantindo medições repetíveis e estáveis a longo prazo.

Áreas de aplicação

• Medição simultânea de comprimento e ângulo para compensar o erro de Abbe em montagens de medição de precisão
• Controle de posição de mesas X‑Y usando duas cabeças sensoras para medição coordenada
• Medições de comprimento e ângulo estáveis a longo prazo com máxima resolução

Ideal para

• Monitoramento e calibração a longo prazo
• Integração OEM em sistemas de precisão
• Aplicações com requisitos máximos de estabilidade e resolução

Especificações técnicas

• Faixa de medição (comprimento): 0 m a ≥ 2 m
• Resolução de comprimento: 5 pm
• Incerteza da medição de comprimento: 0,15 µm/m
• Ângulo máximo de inclinação (com espelho plano): ±430 µrad
• Resolução angular: 0,02 µrad
• Espaçamento de feixes: 15 mm (comprimento), 6 mm (ângulo)
• Sensibilidade térmica: < 20 nm / K
• Princípio de medição: combinação de interferômetro diferencial e interferômetro multi‑feixe para medição simultânea de comprimento e ângulo
• Versões: padrão, variantes OEM e versões para vácuo (sob consulta)