Sistema de posicionamento trípode TRIPOD 92-6DoF

XYa vácuo

O maior dos dois TRIPOD é compatível com o Sistema Modular CLS-92. Uma fase de inclinação da ponta é o componente central deste sistema de posicionamento. A disposição das três torres permite um movimento de rotação e inclinação da placa superior na faixa de ±13° para Θx, ±15° para Θy e uma translação linear na direção Z de 10 mm. A placa superior também inclui uma ranhura para montar um estágio de rotação SR-4011 para acrescentar um quarto grau de liberdade à configuração. A placa inferior, pelo contrário, permite uma montagem direta em uma placa de pão ou uma plataforma XY composta de duas traduções lineares CLS-92 DeepL. A possibilidade posterior cede a um 5D ou em conjunto com o SR-4011 a um sistema de posicionamento 6D. Mecânica Viagem [mm] - 63 (X); 63 (Y); 10 (Z) Viagens [ - 26 (Θx); 28 (Θy); ilimitadas (Θz) Max. Força Normal [N] - 5 Max. Força Horizontal [N] - 2,5 Dimensões [mm] - 142 x 142 x 94 Altura da plataforma acima do solo [mm] - 94 Peso [g] - ~ 1850 Fechado-Loop Tipos de sensores - S Incremento mais pequeno [nm] - 1 Incremento mais pequeno [µrad] - 1 Repetibilidade de loop fechado, Curso completo MCS2 [nm] - < ± 200 Repetibilidade de loop fechado, 1 mm de curso MCS2 [nm] - < ± 10 Repetibilidade de loop fechado, Curso completo MCS2 [µrad] - < ± 15 Opções Opções de Vácuo - HV (1E-6 mbar)