Gerador de plasma PECVD TruPlasma DC 4000 (G2)

PVD

O TruPlasma DC Série 4000 (G2) foi desenvolvido especialmente para a pulverização reativa de CC com materiais difíceis. Os geradores que trabalham com corrente contínua pulsada se destacam principalmente em processos de PVD e PECVD críticos, nos quais são exigidas uma alta produtividade e qualidade de camada. As alimentações de corrente do processo de corrente contínua compactas podem ser usadas tanto na operação pulsada quanto em unilaterais, ou seja, dois aparelhos em uma caixa! Alta qualidade de revestimento e produtividade O processamento digital de sinais garante processos estáveis e o mínimo de perda de tempo em razão de arcos. Melhores resultados inclusive em processos críticos Tratamento rápido de arcos em combinação com tecnologia de pulsos de corrente contínua para minimizar os dados ao substrato. Adaptação simples ao processo Graças ao amplo espectro de frequência e à voltagem reversa ajustável. Construção compacta e robusta A refrigeração de água integrada economiza espaço e reduz os esforços de manutenção.