Sistema MBE GEN20™

O sistema do MBE do ™ GEN20 é poço - serido para o uso com materiais pesquisa e aplicações dos ambientes do pre-production. Vem com um cryopanel, um manipulador e um equipamento de monitoração configuráveis. Através de sua estrutura do projeto modular, sua pode acomodar até dois módulos do crescimento. A estrutura fornece qualquer um manual de opções automatizadas de transferência da bolacha. É manufacturado com fonte vertical à orientação das carcaças. Isto é tornado possível através dos 12 portos da fonte do MBE. Uma opção para adicionar a tecnologia do e-feixe é incluída igualmente.