Sistema MBE GEN930®

O sistema GEN930 MBE da Veeco é adequado para o desenvolvimento de materiais III-V ou II-VI, com um acoplamento directo de bomba para aplicações de nitreto e óxido. A ferramenta tem um design modular, que garante uma solução econômica e flexível, capaz de fornecer qualidade de material comprovada. Este equipamento pode ser integrado com um equipamento analítico para a monitorização in situ dos processos de crescimento. Além disso, o dispositivo oferece uma plataforma versátil com recursos em técnicas de monitoramento in-situ como RHEED, pirometria, elipsometria, RGA, monitoramento de fluxo óptico e espectroscopia de reflexão.