Máquina de deposição PVD NEXUS IBDassistida por feixes de íons
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Características
- Método
- PVD
- Tecnologia
- assistida por feixes de íons
Descrição
Esta máquina ajudada do depósito do feixe de íon PVD de IBAD é desenvolvida por VEECO. É projetada especificamente abastecer as aplicações que incluem a polarização, a ligação, a camada da isolação e o depósito duros da pilha do sensor. Esta máquina é equipada com um armazenamento de dados para aumentar um rendimento de 80 sensores Gb/in2. Além, está usando uma fabricação do dispositivo de FMH com sistema de terceira geração do depósito do feixe de íon de NEXUS® de Veeco (IBD). Para sua utilização, entrega a sustentação em uma seleção larga dos dispositivos que partem do CIP atual avançou dispositivos de CPP.
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