Fonte de íons RF

Fonte de Iões RF de 12 cm Projetado para melhorar a produção de processos de deposição de feixes de íons de longa duração Melhorar o desempenho e a qualidade dos processos reactivos longos e ininterruptos, como a assistência por feixes de iões ou a deposição por feixes de iões de revestimentos ópticos altamente controlados, com a fonte de iões Veeco 12cm RF. Possui o único Neutralizador RF sem filamentos da indústria, que oferece baixa manutenção e permite longas tiragens de produção. A Fonte de Iões RF de 12 cm é ideal para processos que utilizam 100% de argônio, oxigênio ou outros gases reativos. Suporta uma ampla gama de operações: 50 a 1500eV e 50 a 500mA Operação confiável e uniforme em ambientes inertes e oxidantes Refrigerado a água - Operação de baixa a moderada potência Operação de plasma estável e eficiente permite controle preciso e alta repetibilidade Adequado tanto para processos de produção em lote como para processos de produção com carga bloqueada