Máquina de tratamento 3D por laser Ultratech LSA 101

LSA101 laser Spike Anneal System Utilizado conduzindo IDMs e fundições ao redor do mundo, o sistema do LSA101 Ultratech de Veeco é utilizado como a tecnologia preferida para a fabricação do volume alto de dispositivos de lógica avançados do 40nm aos nós 14nm. Construído na unidade customizável Platform™, o sistema de varredura do LSA tem as vantagens fundamentais na uniformidade e no baixo-esforço que processam, que fazem prontamente aplicável para nós atuais e futuros do dispositivo. O sistema LSA101 permite as aplicações de recozimento do milissegundo crítico que permitem que os clientes mantenham altas temperaturas de processamento, e consegue assim o desempenho melhorado do dispositivo, um mais baixo escapamento, e um rendimento mais alto. A configuração LSA101 padrão utiliza um único raio laser estreito para aquecer a superfície da bolacha da temperatura da carcaça à temperatura de recozimento máxima. Uma tecnologia do feixe duplo do LSA foi desenvolvida para expandir o espaço da aplicação do recozimento e das características do laser do não-derretimento um segundo raio laser da baixa potência para permitir o processamento de baixa temperatura. Ao usar o feixe duplo um raio laser mais largo do segundo é incorporado para pré-aquecer a bolacha. O sistema de feixe duplo oferece a flexibilidade em ajustar os perfis da temperatura e do esforço.