Mesa de coordenadas de alta precisão XLS-1 Precision Series
linearpiezoelétricacompatível com vácuo

mesa de coordenadas de alta precisão
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Características

Orientação
linear
Outras características
de alta precisão, compatível com vácuo, com resolução sub-nanométrica
Curso

MÍN: 27 mm
(1,063 in)

MÁX: 102 mm
(4,016 in)

Velocidade

MÍN: 0 mm/s

MÁX: 200 mm/s

Descrição

O Xeryon Linear Stage (XLS) é um estágio linear preciso acionado por um motor piezoelétrico ultra-sônico silencioso. Isto permite um posicionamento rápido com precisão nanométrica. O motor piezoelétrico de autobloqueio mantém a posição da mesa quando não é alimentado. Como resultado, o consumo de energia e a geração de calor são consideravelmente reduzidos. O encoder integrado tem uma resolução de 310 nm.

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