Mesa de coordenadas de precisão submicrônica XLS-1 Ultra Serieslinearpiezoelétricacom resolução sub-nanométrica
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Características
- Orientação
- linear
- Outras características
- de precisão submicrônica, com resolução sub-nanométrica
- Curso
MÁX: 102 mm
(4,016 in)MÍN: 27 mm
(1,063 in)- Velocidade
MÁX: 200 mm/s
MÍN: 0 mm/s
Descrição
O Xeryon Linear Stage (XLS) é um estágio linear muito preciso acionado por um motor piezoelétrico ultra-sônico silencioso. Isto permite um posicionamento rápido com precisão nanométrica. O motor piezoelétrico de autobloqueio mantém a posição da mesa quando não é alimentado. Como resultado, o consumo de energia e a geração de calor são consideravelmente reduzidos. O codificador integrado tem uma resolução de 78 nm.
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