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... de tamanho, o CT1000 desloca-se com precisão para a posição crítica do padrão ou para a posição do defeito detectado pela unidade de inspeção de defeitos. A observação tridimensional ...
... função avançada de revisão e análise de defeitos para bolachas não padronizadas - Melhoria notável do desempenho e da precisão da classificação de defeitos através da adoção da ADC (Classificação Automática ...
... wafer antes da aplicação de padrões. Defeitos da superfície das bolachas, tais como defeitos de planura rasa, marcas de água, falhas de empilhamento de epinefrina, saliências pelo processo de polimento, ...
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