Medidores de vazão para gás HORIBA

Vazão volumétrica: 0 l/min - 0,1 l/min
Temperatura de processo: 0 °C - 80 °C
Pressão de processo: 1,1 bar - 3,5 bar

... Os processos críticos de fabrico de semicondutores exigem continuamente dispositivos de controlo do fluxo de gás de precisão que permitam tanto a inovação futura como a transição do laboratório para a fábrica de dispositivos lógicos e ...

Temperatura de processo: 0 °C - 80 °C
Pressão de processo: 0,13 bar - 4 bar
Repetibilidade: 0,01 % - 0,3 %

... caudal até 0,1% da gama de escala total, o que ajuda os utilizadores a otimizar a flexibilidade do sistema de fornecimento de gás. Por exemplo, se o sistema instalar vários MFCs para controlo de caudal alto e baixo, os utilizadores podem ...

Temperatura de processo: 0 °C - 80 °C
Pressão de processo: 3,5 bar - 7,5 bar
Repetibilidade: 0,03 % - 0,3 %

... fornecimento de gás Solução multi-gama, multi- gás e multi-pressão As novas funções permitem ao utilizador alterar o tipo de gás, o caudal em escala real e a gama de pressão de alimentação Função de auto-diagnóstico ...

Temperatura de processo: 15 °C - 45 °C
Pressão de processo: 2,4 bar - 4,12 bar

... especializados e o padrão de baixo fluxo recentemente desenvolvido internamente permitem um controlo de fluxo de alta precisão até 0,025SCCM. Capacidade de controlo do caudal até 0,025SCCM Controlo preciso do gás ...

Temperatura de processo: 15 °C - 60 °C
Pressão de processo: 2,4 bar - 3,5 bar

... algoritmo de controlo de caudal avançado patenteado com uma estrutura de válvula dupla que permite que o sistema de fornecimento de gás do cliente resolva vários desafios. ≤ Tempo de estabilização rápido de 100 mseg em toda a linha (Set ...

Vazão volumétrica: 0,1, 0,3 l/min
Pressão de processo: 0,5 bar - 4 bar
Repetibilidade: 0,15, 0,01 %

... custo, o tamanho e a complexidade dos sistemas de fornecimento de gás. Uma nova função de alto desempenho proporciona um sistema simplificado de fornecimento de gás. As linhas de gás típicas de várias ...

... semicondutores esforçam-se por equilibrar a necessidade de aumentar o número de controladores de caudal mássico e, ao mesmo tempo, miniaturizar os painéis de gás*4 que instalam estes dispositivos. A HORIBA STEC desenvolveu ...