Medidor de vazão mássica termal D700MG

para gásde precisãodigital

Módulo de caudal mássico insensível à pressão de alta velocidade e precisão Os processos críticos de fabrico de semicondutores exigem continuamente dispositivos de controlo do fluxo de gás de precisão que permitam tanto a inovação futura como a transição do laboratório para a fábrica de dispositivos lógicos e de memória de ponta. A HORIBA propõe o novo MFC D700MG baseado em pressão, o modelo compatível superior do D500MG para apoiar os desafios do cliente. Características Mudança de configuração de gás e escala completa na ferramenta *Somente EtherCAT Proporciona flexibilidade para a optimização do processo resposta de aumento de 100 ms e controlo de desvio MFC para MFC Proporciona alta produtividade e maior desempenho do processo Funcionalidade MRMG para caudais pequenos (Bin101 - Bin105) Proporciona flexibilidade ao processo que requer um caudal reduzido Melhor fecho da válvula e resistência à corrosão pelo bocal PFA A robustez com menor risco de partículas reduz o tempo de paragem e optimiza o rendimento Função de monitorização do estado Fornece mais dados internos para uma previsão de falhas mais inteligente