Regulador de vazão mássica termal SEC-Z500X series

para gásdigitaisanalógico

Controlador Digital de Fluxo de Massa Multi Gama/Multi Gás Este é o modelo mais vendido da HORIBA para controladores de fluxo de massa digital. Possui funções multi-gás/multi-gás que permitem aos utilizadores alterar o tipo de gás ou o caudal em escala real no local de forma rápida e fácil. Com alta precisão +/- 1,0% S.P, válvula de atuador piezo, resposta em alta velocidade e sendo todo metálico, este controlador de fluxo de massa é adequado para melhoria do rendimento do processo e gestão simplificada de peças. As comunicações Digital/Analog, DeviceNet™, e EtherCAT® estão todas disponíveis. Alta Precisão ±1,0% P.S. A linearidade deste controlador de fluxo de massa é compensada por uma curva polinomial aproximada e alcança alta precisão para todas as faixas de controle de fluxo. Para fins de avanço da precisão real do gás, os dados de calibração de vários gases de processo são medidos pelo sistema de medição de gás padrão da HORIBA STEC. Resposta em Alta Velocidade Instalado com o "Sistema PID Variável", que pode alcançar 1 segundo de resposta entre quaisquer dois pontos de ajuste. O PID variável está mudando continuamente, dependendo do ajuste do ponto de fluxo. Isso permite que o fator PID seja otimizado quando o fluxo total da escala e os gases são alterados. Solução Multi-Gás/Multi-Gás O software de configuração torna possível alterar as especificações rápida e facilmente. Uma característica chave é que as alterações podem ser feitas sem remover o controlador de fluxo de massa do painel de gás ou da tubulação. Isto reduz o número de controladores de fluxo de massa de reposição necessários; poupando tempo e custos. O controlador de fluxo de massa SEC-Z500X é adequado para várias aplicações, bem como para a fabricação de semicondutores.