Regulador de vazão mássica termal SEC-Z500X series

para gásdigitaisanalógico

Este é o modelo mais vendido da HORIBA para controladores digitais de caudal mássico. Tem funções multi-gama/multi-gás que permitem aos utilizadores alterar o tipo de gás ou o caudal em escala real no local de forma rápida e fácil. Com uma precisão elevada de +/- 1,0% S.P, válvula de atuador piezoelétrico, resposta a alta velocidade e sendo totalmente metálico, este controlador de caudal mássico é adequado para melhorar o rendimento do processo e simplificar a gestão de peças. Estão disponíveis comunicações digitais/analógicas, DeviceNet™ e EtherCAT®. Alta precisão ±1,0% S.P. A linearidade deste controlador de caudal mássico é compensada por uma curva polinomial aproximada e atinge uma elevada precisão para todas as gamas de controlo de caudal. Para efeitos de avanço da precisão do gás real, os dados de calibração de vários gases de processo são medidos pelo sistema de medição de gás padrão da HORIBA STEC. Resposta de alta velocidade Instalado com o "sistema PID variável", que pode atingir uma resposta de 1 segundo entre quaisquer dois pontos de ajuste. O PID variável muda continuamente em função da definição do ponto de caudal. Isto permite que o fator PID seja optimizado quando o caudal à escala total e os gases são alterados. Solução multi-gás/multi-gama O software de configuração torna possível alterar as especificações de forma rápida e fácil. Uma caraterística chave é que as alterações podem ser feitas sem remover o controlador de fluxo de massa do painel de gás ou da tubulação. Isto reduz o número de controladores de caudal mássico de reserva necessários, poupando tempo e custos. O controlador de caudal mássico SEC-Z500X é adequado para várias aplicações, bem como para o fabrico de semicondutores.