Medidor de vazão térmico DZ-107

de massapara gás

A HORIBA STEC, Co., Ltd. anunciou o lançamento do DZ-107 como o mais recente modelo da sua série de controladores de caudal mássico ultra-finos a 14 de janeiro. Este produto aumenta o caudal à escala real*1 em cerca de sete vezes o dos modelos anteriores e atinge um caudal mássico máximo de 20 SLM*2, o mais elevado da sua classe*3, mantendo uma largura ultrafina de 10 mm. O DZ-107 também aumenta a temperatura máxima de funcionamento de 45°C para 60°C para suportar gases utilizados no processo de fabrico de precisão de semicondutores de ponta. Estas melhorias funcionais não só mantêm a eficácia dos modelos anteriores nos processos de gravação, como também suportam aplicações de deposição química de vapor (CVD) e deposição de camada atómica (ALD) que requerem um elevado controlo do fluxo. À medida que os dispositivos semicondutores modernos ultrapassam os limites da miniaturização e da integração, os requisitos dos controladores de caudal de massa em processos como a gravação e a moldagem estão a tornar-se mais sofisticados e complexos. Para satisfazer uma vasta gama de necessidades, os fabricantes de equipamentos de fabrico de semicondutores esforçam-se por equilibrar a necessidade de aumentar o número de controladores de caudal mássico e, ao mesmo tempo, miniaturizar os painéis de gás*4 que instalam estes dispositivos. A HORIBA STEC desenvolveu o DZ-107 para melhorar totalmente as capacidades do produto para enfrentar este desafio, mantendo a largura exclusivamente fina de 10 mm do DZ-100 lançado em 2020. Isto inclui o aumento do caudal à escala real e da gama de temperaturas de funcionamento, para além do suporte para EtherCAT®*5. *1 Caudal máximo que o dispositivo está calibrado para medir e controlar com precisão *2 Litros padrão por minuto (SLM) fornece um valor numérico em litros que indica