Medidores de vazão de massa HORIBA

Vazão volumétrica: 0 l/min - 0,1 l/min
Temperatura de processo: 0 °C - 80 °C
Pressão de processo: 1,1 bar - 3,5 bar

... Os processos críticos de fabrico de semicondutores exigem continuamente dispositivos de controlo do fluxo de gás de precisão que permitam tanto a inovação futura como a transição do laboratório para a fábrica de dispositivos lógicos e de memória de ponta. ...

Temperatura de processo: 0 °C - 80 °C
Pressão de processo: 0,13 bar - 4 bar
Repetibilidade: 0,01 % - 0,3 %

... O D700WR instala um novo restritor concebido especificamente para uma aplicação de controlo de gama alargada com um desempenho de elevada precisão baseado na tecnologia CRITERION™. O D700WR pode controlar o caudal até 0,1% da gama de escala total, o que ...

Temperatura de processo: 0 °C - 80 °C
Pressão de processo: 3,5 bar - 7,5 bar
Repetibilidade: 0,03 % - 0,3 %

... Este módulo de caudal mássico insensível à pressão de ponta é instalado com deteção de pressão diferencial e uma válvula de atuador piezoelétrico. O elevado nível de desempenho proporcionado pelo CRITERION D500 garante a sua utilização numa série de ...

Temperatura de processo: 15 °C - 45 °C
Pressão de processo: 2,4 bar - 4,12 bar

... caudal ≤ 5SCCM tem sido muito crítico em processos de elevado rácio de aspeto Os componentes especializados e o padrão de baixo fluxo recentemente desenvolvido internamente permitem um controlo de fluxo de alta precisão até 0,025SCCM. ...

Temperatura de processo: 15 °C - 60 °C
Pressão de processo: 2,4 bar - 3,5 bar

... O D700T é o módulo de caudal mássico insensível à pressão com melhor desempenho, concebido para processos críticos de fabrico de semicondutores. O D700T adaptou a tecnologia de medição e controlo de caudal baseada na pressão HORIBA CRITERION para proporcionar ...

Vazão volumétrica: 0,1, 0,3 l/min
Pressão de processo: 0,5 bar - 4 bar
Repetibilidade: 0,15, 0,01 %

... câmaras têm um regulador de linha, um sensor de pressão e um filtro para evitar o fenómeno de diafonia do controlador de fluxo de massa causado por flutuações de pressão. A série SEC-Z700S demonstra uma elevada estabilidade e controla ...

... semicondutores modernos ultrapassam os limites da miniaturização e da integração, os requisitos dos controladores de caudal de massa em processos como a gravação e a moldagem estão a tornar-se mais sofisticados e complexos. ...

Vazão volumétrica: 0 us gal/min - 100 us gal/min
Temperatura de processo: 5 °C - 50 °C
Pressão de processo: 0,5 bar - 3 bar

... viscosidade Ultra limpo. Técnicas de medição Método de medição por arrefecimento Os sensores de caudal destes controladores de caudal mássico para líquidos são constituídos por um elemento de arrefecimento eletrónico (elemento Peltier) ...