Medidores de vazão térmicos HORIBA

Vazão volumétrica: 0 l/min - 0,1 l/min
Temperatura de processo: 0 °C - 80 °C
Pressão de processo: 1,1 bar - 3,5 bar

... Os processos críticos de fabrico de semicondutores exigem continuamente dispositivos de controlo do fluxo de gás de precisão que permitam tanto a inovação futura como a transição do laboratório para a fábrica de dispositivos lógicos e de memória de ponta. ...

Temperatura de processo: 0 °C - 80 °C
Pressão de processo: 0,13 bar - 4 bar
Repetibilidade: 0,01 % - 0,3 %

... O D700WR instala um novo restritor concebido especificamente para uma aplicação de controlo de gama alargada com um desempenho de elevada precisão baseado na tecnologia CRITERION™. O D700WR pode controlar o caudal até 0,1% da gama de escala total, o que ...

Temperatura de processo: 0 °C - 80 °C
Pressão de processo: 3,5 bar - 7,5 bar
Repetibilidade: 0,03 % - 0,3 %

... Este módulo de caudal mássico insensível à pressão de ponta é instalado com deteção de pressão diferencial e uma válvula de atuador piezoelétrico. O elevado nível de desempenho proporcionado pelo CRITERION D500 garante a sua utilização numa série de ...

Temperatura de processo: 15 °C - 45 °C
Pressão de processo: 2,4 bar - 4,12 bar

... caudal ≤ 5SCCM tem sido muito crítico em processos de elevado rácio de aspeto Os componentes especializados e o padrão de baixo fluxo recentemente desenvolvido internamente permitem um controlo de fluxo de alta precisão até 0,025SCCM. ...

Vazão volumétrica: 0,1, 0,3 l/min
Pressão de processo: 0,5 bar - 4 bar
Repetibilidade: 0,15, 0,01 %

... A série SEC-Z700S está equipada com novos sensores térmicos desenvolvidos e uma função insensível à pressão para um controlo estável do caudal. A medição de pressão integrada reduz o custo, o tamanho e a complexidade dos sistemas de fornecimento ...

... A HORIBA STEC, Co., Ltd. anunciou o lançamento do DZ-107 como o mais recente modelo da sua série de controladores de caudal mássico ultra-finos a 14 de janeiro. Este produto aumenta o caudal à escala real*1 em cerca de sete vezes o dos ...

Vazão volumétrica: 0 us gal/min - 100 us gal/min
Temperatura de processo: 5 °C - 50 °C
Pressão de processo: 0,5 bar - 3 bar

... de líquidos que utilizam um elemento Peltier que arrefece o líquido em vez de utilizar o método mais comum de aquecimento térmico. Esta técnica elimina o risco de ebulição de produtos químicos com um ponto de ebulição baixo, permitindo ...