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... ser feitas sem remover o controlador de fluxo de massa do painel de gás ou da tubulação. Isto reduz o número de controladores de caudal mássico de reserva necessários, poupando tempo e custos. O controlador ...
HORIBA STEC
... A série SEC-N100 é adequada para uma grande variedade de indústrias e aplicações. Este controlador de fluxo de massa pode controlar uma ampla gama de fluxos: de 10 SCCM a 1000 SLM. A série SEC-N100 também tem vários tipos de comunicações ...
HORIBA STEC
Fluxo: 3 l/min - 150 l/min
Pressão: 1 bar - 3 bar
HORIBA STEC
Pressão: 1 bar - 3 bar
... fornecimento de gás. As linhas de gás típicas de várias câmaras têm um regulador de linha, um sensor de pressão e um filtro para evitar o fenómeno de diafonia do controlador de fluxo de massa causado por flutuações de ...
HORIBA STEC
Fluxo: 0 us gal/min - 100 us gal/min
Pressão: 1 bar - 3 bar
... viscosidade Ultra limpo. Técnicas de medição Método de medição por arrefecimento Os sensores de caudal destes controladores de caudal mássico para líquidos são constituídos por um elemento de arrefecimento electrónico ...
HORIBA STEC
Pressão: 3, 4 bar
... O GR-511F pode controlar os gases utilizados para arrefecer a parte de trás das bolachas que são fixadas em posição por um sistema de mandril eletrostático. A estabilidade e a precisão do GR-511F tornam-no ideal para controlar o fluxo de hélio e árgon ...
HORIBA STEC
Fluxo: 0 l/min - 2 l/min
... Este controlador de caudal mássico de uso geral possui um sensor térmico fiável e uma válvula solenoide, permitindo-lhe obter um controlo de alto nível do caudal de gás. Um componente versátil, o controlador ...
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