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... ser feitas sem remover o controlador de fluxo de massa do painel de gás ou da tubulação. Isto reduz o número de controladores de caudal mássico de reserva necessários, poupando tempo e custos. O controlador ...
HORIBA STEC
... A série SEC-N100 é adequada para uma grande variedade de indústrias e aplicações. Este controlador de fluxo de massa pode controlar uma ampla gama de fluxos: de 10 SCCM a 1000 SLM. A série SEC-N100 também tem vários tipos de comunicações ...
HORIBA STEC
Fluxo: 3 l/min - 150 l/min
Pressão: 1 bar - 3 bar
HORIBA STEC
Pressão: 1 bar - 3 bar
... fornecimento de gás. As linhas de gás típicas de várias câmaras têm um regulador de linha, um sensor de pressão e um filtro para evitar o fenómeno de diafonia do controlador de fluxo de massa causado por flutuações de ...
HORIBA STEC
Pressão: 3, 4 bar
... O GR-511F pode controlar os gases utilizados para arrefecer a parte de trás das bolachas que são fixadas em posição por um sistema de mandril eletrostático. A estabilidade e a precisão do GR-511F tornam-no ideal para controlar o fluxo de hélio e árgon ...
HORIBA STEC
Fluxo: 0 l/min - 2 l/min
... Este controlador de caudal mássico de uso geral possui um sensor térmico fiável e uma válvula solenoide, permitindo-lhe obter um controlo de alto nível do caudal de gás. Um componente versátil, o controlador ...
HORIBA STEC
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