Sistemas de inspeção automáticos KLA

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sistema de inspeção de feixe
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eSL10™

... O sistema de inspeção de defeitos de bolachas com padrão de feixe de electrões (e-beam) eSL10™ aproveita a energia de aterragem mais elevada da indústria e a alta resolução para capturar pequenos defeitos físicos e de ...

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sistema de inspeção óptico
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Teron™ SL600

... 7nm/5nm. O sistema de análise de dados de retículos para fábricas de circuitos integrados suporta aplicações como a classificação automática de defeitos, a revisão do plano de litografia e a monitorização da progressão ...

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sistema de inspeção óptico
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FlashScan®

... O sistema de inspeção de defeitos de máscaras em branco FlashScan® 211 apoia as lojas de máscaras e os fabricantes de máscaras em branco no cumprimento dos requisitos de defeitos de máscaras em branco para aplicações ...

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sistema de inspeção 3D
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Kronos™ 1190XR

... incómodo. O mais recente sistema Kronos 1190XR oferece o eXtended Range ao lidar com uma gama mais ampla de espessuras de wafer. Suportando substratos colados, desbastados, deformados e cortados em cubos, o sistema permite ...

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sistema de inspeção óptico
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CIRCL™-AP

... colagem híbrida e outros fluxos de processos de embalagem. O mais recente sistema CIRCL-AP suporta uma gama mais ampla de espessuras de bolacha para o módulo de metrologia e inspeção de bolacha frontal, bem como para ...

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sistema de inspeção óptico
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ICOS™ T890

... Sistemas de Inspecção IC e Metrologia Embalados O inspetor de componentes ICOS™ T890 fornece inspeção óptica de alto desempenho e totalmente automatizada de componentes de circuitos integrados (CI) embalados. ...

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