Mesas de coordenadas compatíveis com vácuo

Curso: 1 mm - 40 mm
Velocidade: 1 mm/s - 200 mm/s
Repetibilidade: 0,3 µm - 5 µm

... de material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação - Pode ser combinado com um sistema de transferência XYZ (por exemplo, LA90, LA95, LA170) - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - ...

Curso: 1 mm - 100 mm
Velocidade: 1 mm/s - 10 mm/s
Repetibilidade: 0,4 µm - 5 µm

... útil apesar da lubrificação a seco Características: parafuso de avanço com lubrificação a seco ou parafuso de esferas com travões piezoeléctricos líquidos para estabilidade em nm - Vácuo: ...

Curso: 1 mm - 300 mm
Velocidade: 1 mm/s - 10 mm/s
Repetibilidade: 0,015 µm - 5 µm

... Vantagem: posicionamento nanométrico, também na vertical Características: posicionamento com extrema resolução e máxima rigidez pode ser equipado com 2 (ou 4) motores - Vácuo: todas ...

Curso: 26 mm
Velocidade: 20 mm/s
Repetibilidade: 40, 200 nm

... atmosféricos ou HV, equipado com um sensor de posição S. Para desenhos técnicos e especificações detalhadas de outras variantes, tais como estágios compatíveis com UHV, estágios com ...

Curso: 31 mm
Velocidade: 20 mm/s
Repetibilidade: 40, 200 nm

... outras variantes, tais como estágios compatíveis com UHV, estágios com maior força de bloqueio ou outras opções de sensores, por favor contacte a nossa equipa de vendas. Mecânica Gama ...

Curso: 41 mm
Velocidade: 20 mm/s
Repetibilidade: 40, 200 nm

... atmosféricos ou HV, equipado com um sensor de posição S. Para desenhos técnicos e especificações detalhadas de outras variantes, tais como estágios compatíveis com UHV, estágios com ...

Curso: 25 mm - 200 mm
Velocidade: 0 m/s - 0,1 m/s

Curso: 20 mm - 40 mm
Velocidade: max 0.048 m/s

Curso: 10 mm
Velocidade: 1 mm/s

Curso: 3 mm
Velocidade: 1,5 mm/s

Curso: 8 mm
Velocidade: 1,2 mm/s

Curso: 30, 50, 100 mm
Velocidade: 5, 50 mm/s

... tais como em alto vácuo, vácuo ultra-alto e para aplicações não magnéticas. Opcionalmente, o microestágio pode ser equipado com dois motores para posicionar cargas mais elevadas. Campos ...

Curso: 100, 50 mm
Velocidade: 5 mm/s
Repetibilidade: 0,5 µm - 4 µm

... Estabilidade na gama de nanómetros mesmo com cargas elevadas até 10 kg A fase linear é concebida para posicionar cargas com elevada rigidez em condições extremas, tais como em alto vácuo ...

Curso: 60, 130 mm
Velocidade: 5 mm/s
Repetibilidade: 0,5 µm - 4 µm

... lubrificação a vácuo adaptada à aplicação - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Opcional com controlador ...

Curso: 50 mm - 200 mm