para condições de alto vácuo até 10^(-6) mbar
design ultra compacto
xyz - combinação possível
Estágios de translação em miniatura ultra pequenos com acionamento piezoelétrico por inércia. Edição para vácuo do MS15.
Dados técnicos
Largura - 15 mm
Altura - 7 mm
Profundidade - 15 mm
Velocidade - 1,5 mm/s
Carga máxima
Momento (Mx) - 4 Ncm
Momento (My) - 4 Ncm
Momento (Mz) - 4 Ncm
Força de bloqueio (Fx) - 3 N
Força de apoio (Fy, Fz) - 20 N
Precisão da orientação
Ângulo de guinada - 20 arc sec
Ângulo de inclinação - 60 segundos de arco
Desvio vertical - 1 um
Desvio lateral - 2 um
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