design compacto para aplicações de vácuo
combinação xy sem placa adaptadora
Estágios de translação em miniatura ultra pequenos com acionamento piezoelétrico por inércia para aplicações em vácuo.
Dados técnicos
Largura - 22 mm
Altura - 7 mm
Profundidade - 15 mm
Carga máxima
Momentum (Mx) - 4,5 Ncm
Momento (My) - 1,5 Ncm
Momento (Mz) - 3,2 Ncm
Força de bloqueio (Fx) - 3 N
Força de apoio (Fy, Fz) - 20 N
Precisão da orientação
Ângulo de guinada - 20 arc sec
Ângulo de inclinação - 60 segundos de arco
Desvio vertical - 1 um
Desvio lateral - 2 um
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