para condições de alto vácuo até 10^(-6) mbar
caixa especialmente plana (11 mm de altura)
Estágios de translação em miniatura com acionamento piezoelétrico por inércia. Edição para vácuo do DS 40.
Dados técnicos
Largura - 40 mm
Altura - 11 mm
Profundidade - 40 mm
Carga máxima
Momentum (Mx) - 5 Ncm
Momento (My) - 5 Ncm
Momento (Mz) - 5 Ncm
Força de bloqueio (Fx) - 4,5 N
Força de apoio (Fy, Fz) - 30 N
Precisão da orientação
Ângulo de guinada - 20 arc sec
Ângulo de inclinação - 60 segundos de arco
Desvio vertical - 1 um
Desvio lateral - 2 um
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