para condições de alto vácuo até 10^(-9) mbar
abertura livre de 10 mm para passagem de raios
Palcos de translação miniatura com abertura livre de 10 mm e acionamento piezoelétrico por inércia. Edição UHV do MS 38.
Dados técnicos
Largura - 38 mm
Altura - 9,5 mm
Profundidade - 40 mm
Carga máxima
Momentum (Mx) - 4 Ncm
Momento (My) - 4 Ncm
Momento (Mz) - 4 Ncm
Força de bloqueio (Fx) - 4,5 N
Força de apoio (Fy, Fz) - 20 N
Precisão da orientação
Ângulo de guinada - 20 arc sec
Ângulo de inclinação - 60 arc sec
Desvio vertical - 1 um
Desvio lateral - 2 um
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