para circuito fechado (resolução até 50 nm)
para o sistema NOVA
Estágios de translação miniatura com acionamento piezoelétrico por inércia para o sistema NOVA. Edição standard
Dados técnicos
Largura - 70 mm
Altura - 20 mm
Profundidade - 70 mm
Velocidade - 1 mm/s
Carga máxima
Momento (Mx) - 5 Ncm
Momento (My) - 5 Ncm
Momento (Mz) - 5 Ncm
Força de bloqueio (Fx) - 9 N
Força de apoio (Fy, Fz) - 30 N
Precisão da orientação
Ângulo de guinada - 20 arc sec
Ângulo de inclinação - 60 segundos de arco
Desvio vertical - 1 um
Desvio lateral - 2 um
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