Mesa de coordenadas de translação NDS70piezoelétricaem malha fechada
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Características
- Orientação
- de translação
- Tipo
- piezoelétrico
- Outras características
- em malha fechada
- Curso
15 mm
(0,591 in)- Velocidade
1 mm/s
Descrição
um curso de 15 milímetros em uma pegada de 70 x 70 milímetros
para o circuito fechado (definição de até 50 nanômetro)
para o sistema da NOVA
Fases diminutas da tradução com movimentação com inércia elétrica piezo para o sistema da NOVA. Standard edition
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