Mesa de coordenadas linear MS15motorizadapiezoelétricade 3 eixos
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Características
- Orientação
- linear
- Tipo
- motorizada, piezoelétrica
- Número de eixos
- de 3 eixos
- Outras características
- compacta, miniatura, compatível com vácuo
- Curso
3,5 mm
(0,138 in)- Velocidade
1,5 mm/s
- Carga
6 g
(0,21 oz)
Descrição
para condições de vácuo ultra-elevado até 10^(-9) mbar
design ultra-compacto
15 x 15 mm de área útil
Estágios de translação em miniatura ultra pequenos com acionamento piezoelétrico por inércia. Edição UHV do MS15.
Dados técnicos
Largura - 15 mm
Altura - 7 mm
Profundidade - 15 mm
Carga máxima
Momentum (Mx) - 4 Ncm
Momento (My) - 4 Ncm
Momento (Mz) - 4 Ncm
Força de bloqueio (Fx) - 3 N
Força de apoio (Fy, Fz) - 20 N
Precisão da orientação
Ângulo de guinada - 20 arc sec
Ângulo de inclinação - 60 segundos de arco
Desvio vertical - 1 um
Desvio lateral - 2 um
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