Mesa de coordenadas linear LA97

piezoelétricade 1 eixode rolos cruzados

LA97 Estágio linear nanométrico Aplicação: digitalização Vantagem: posicionamento nanométrico, também na vertical Características: posicionamento com extrema resolução e máxima rigidez pode ser equipado com 2 (ou 4) motores - Vácuo: todas as gamas de pressão HV / UHV até 10E-11 mbar - Magnetismo: magnético | pouco magnético | sem ímanes - Lubrificação: líquido até 10E-8 / lubrificante seco até 10E-11 mbar - Temperatura máxima de cozedura: 120°C Opções: - Versões magnéticas, pouco magnéticas e sem ímanes disponíveis - Seleção de material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Opcional com controlador FMC400/450 Dados técnicos - Curso: 100 mm - 300 mm - Repetibilidade: ± 0,015 µm (unidirecional) ± 0,02 µm (bidirecional) - Carga: → 98 N / ↑ 58 N - Velocidade máx. Velocidade: 10 mm/s - Motor: Motor Piezo - Rolamento: rolamentos de rolos cruzados de aço inoxidável, híbrido, cerâmica completa opcional - Feedback: Escala linear - Resolução da realimentação: ± 0,1 µm