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Mesa de coordenadas linear HT240
elétricade 1 eixode rolos cruzados

mesa de coordenadas linear
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Características

Orientação
linear
Tipo
elétrica
Número de eixos
de 1 eixo
Outras características
de precisão, de alumínio, compatível com vácuo, para manipulação de wafers, de circuito aberto, de rolos cruzados
Curso

MÍN: 1 mm
(0,039 in)

MÁX: 25 mm
(0,984 in)

Velocidade

MÍN: 1 mm/s

MÁX: 3,4 mm/s

Repetibilidade

MÍN: 0,3 µm

MÁX: 5 µm

Carga

MÍN: 0,5 kg
(1,1 lb)

MÁX: 44 kg
(97 lb)

Descrição

HT240 Plataforma de elevação vertical precisa para cargas elevadas Aplicação: Plataforma de elevação a vácuo Vantagem: elevada rigidez e carga Características: cunha com fuso de esferas - Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV até 10-11 mbar - Lubrificação líquida até 10-8 / seca até 10-11 mbar - Magnetismo: magnético - Máx. Temperatura de cozedura: 120°C Opção: - Seleção de material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Opcional com o controlador FMC400/450 Dados técnicos - Curso: - 25 mm - Repetibilidade: - ± 1,7 µm, ± 0,3 µm (unidirecional) ± 2,7 µm, ± 0,5 µm (bidirecional) - Carga: → 440N / ↑ 410 N - Velocidade máx. Velocidade: 3,4 mm/s - Motor: Motor Piezo - Rolamentos: Rolo cruzado de aço inoxidável, híbrido - Feedback: Escala linear - Resolução de feedback: 1 µm

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    * Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.