Mesa de coordenadas linear LA80

elétricade 1 eixode longo curso

LA80 Eixo linear UHV de alta velocidade Aplicação: fase de transporte rápido Vantagem: elevado tempo de vida útil apesar do lubrificante seco Características: acionamento por fuso de esferas com lubrificação a seco - Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV até 10E-11 mbar - Magnetismo: magnético - Lubrificação: líquida até 10E-8 / seca até 10E-11 mbar - Temperatura máxima de cozedura: 120°C Opções: - Opcionalmente com e sem sistema de medição - Seleção de material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação - Pode ser combinado com um sistema rápido de transferência XYZ (por exemplo, LA90, LA95, LA170) - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Opcional com controlador de movimento FMC400/450 Dados técnicos - Curso: 200mm - 500mm - Repetibilidade: ± 3µm, ± 0,3µm (unidirecional) ± 4µm, ± 0,5µm (bidirecional) - Carga: → 49 N / ↑ 9 N - Velocidade máx. Velocidade: 100 mm/s - Motor: Motor de passo - Rolamentos: Guias de esferas de recirculação híbridas em aço inoxidável - Feedback: Circuito aberto, escala linear - Resolução da realimentação: ± 0,5 µm