卓上電源

DCマルチ出力

製品概要
半導体製造における300mmウェハの電解研磨に直流電力を供給します。6チャンネル構成のOEM DC電源を、各600Wの電源6台を内蔵した単一パッケージで提供。自己完結型コントローラ — 事前設定後は独立して動作します。

主な特長

• OEM 6チャンネル DC ソース
• 6台の600W電源を1パッケージに収容
• 自己完結型コントローラ — 事前設定後に独立動作
• ランプおよびシーケンス対応
• チャンネル間依存動作対応
• DeviceNet インターフェース
• ソリッドステートによる極性切替

技術仕様

• チャンネル数: 6
• チャネル当たり出力: 600W
• 構成: 6台の電源を搭載した単一パッケージ
• 制御: プログラム可能なシーケンスとランプを備えた内蔵コントローラ
• 通信: DeviceNet
• 極性切替: ソリッドステート

用途

• 300mmウェハの電解研磨（エレクトロポリッシュ）
• 薄膜処理および表面仕上げ
• 半導体の研究開発および生産ライン

インターフェースと制御

• 工場自動化との統合用 DeviceNet 通信
• 複雑なプロセス向けのプログラム可能なランプ、シーケンス、チャンネル依存設定
• 高速で信頼性の高い極性変更を実現するソリッドステート極性切替