光学式検査装置 Phoenix Ultima

レーザー走査3D

CIMSの最新世代AOIシステムPhoenix Ultimaは、IC基板の大量生産をサポートするように設計されています。ライン/スペース幅4µmまでスキャン可能です。 このシステムの最先端の光学技術Prisma™は、高解像度の画像取得を高速スキャンでサポートするために、最大限のコントラストでフレキシブルな照射範囲を提供するように設計されています。シャープな高解像度画像とカスタマイズ可能な検出アルゴリズムを組み合わせることで、最適化されたパフォーマンスが達成される。 最先端の画像取得と高度なソフトウェア機能を備えたPhoenix製品ファミリーは、可能な限り低い誤検出率で達成される卓越した検出で有名です。 Phoenix Ultimaは、革新的なクロスプラットフォーム検出エンジンSpark™を搭載しています。 ハイライト -リニアモーターによる滑らかで静かな動き -堅牢な機械構造 -自動バキュームテーブル -高性能画像処理ファームウェア -大容量データを処理する次世代コンピューター -新規ジョブのための高速で直感的なセットアップ -フロント/バックAMHSオートメーションまたはロボットとの互換性 オプション -Fi -完成基板の最終検査オプション +2DM計測 - パネル寸法計測 -+2CD計測 -回路素子の2D計測 -+3DHメトロロジー -回路素子の高さの3D測定 -+3DP計測-回路素子の3Dプロファイリング -LDI-レーザードリル検査オプション -CDB/CDBIC - 欠陥分類と仮想欠陥マッピング -VVS - バーチャル検証システム