電界放出形走査電子顕微鏡 SEM5000Pro実験用品質管理用産業用
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特徴
- 応用
- 実験用, 産業用, 品質管理用, 素材分析用
- エルゴノミクス
- 正立型
- 対物レンズの種類
- 色消し
- 観察法
- 明視野式, インサイチュ
- 構成
- 床置き
- 電子源
- ショットキー電界放出
- レンズ設計
- 収差補正, 浸漬
- 検出器の特徴
- 反射電子, インレンズSE, EBSD
- オプションと付属品
- コンピューター制御式, USBポート付き, ズーム式
- その他の特徴
- 高解像度, 自動, 観測用
- 倍率
最大: 2,500,000 unit
最少: 1 unit
- 分解能
最大: 1.3 nm
最少: 0.8 nm
- 重量
950 kg
(2,094.4 lb)- 長さ
1,310 mm
(51.6 in)- 幅
910 mm
(35.8 in)- 高さ
1,710 mm
(67.3 in)
詳細
CIQTEK FESEM 顕微鏡 SEM5000Pro 仕様
-電子光学系
分解能：0.8 nm @ 15 kV, SE/1.2 nm @ 1.0 kV, SE
加速電圧：0.02kV ~ 30kV
倍率（ポラロイド）：1 ~ 2,500,000 x
電子銃タイプ：ショットキー電界放出型電子銃
-試料室
カメラ：デュアルカメラ（オプティカルナビゲーション＋チャンバーモニター）
ステージ範囲：X:110mm, Y:110mm, Z:50mm/T:-10°～+70°, R:360°.
-SEM検出器とエクステンション
標準：インレンズ電子検出器/エバーハート-ソーンリー検出器（ETD）
オプション：開閉式後方散乱電子検出器(BSED)
開閉式走査透過電子顕微鏡(STEM)
低真空検出器（LVD）
エネルギー分散型分光器（EDS / EDX）
電子線後方散乱回折パターン(EBSD)
試料交換用ロードロック（4インチ/8インチ）
トラックボール＆ノブ操作パネル
-ソフトウェア
言語：英語
オペレーティングシステム：Windows
ナビゲーション：オプティカルナビゲーション、ジェスチャークイックナビゲーション、トラックボール（オプション）
自動機能：オートブライトネス＆コントラスト、オートフォーカス、オートスティグマータ
CIQTEK SEM5000Proは、低励起電圧下での高分解能観察に特化したショットキー電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）です。先進の "スーパートンネル "電子光学技術を採用し、静電-電磁複合レンズ設計とともにクロスオーバーのないビームパスを実現しました。
これらの進化により、空間帯電効果を低減し、レンズ収差を最小限に抑え、低電圧でのイメージング分解能を向上させ、1 kVで1.2 nmの分解能を達成しました。
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