電界放出形走査電子顕微鏡 SEM4000X検査用実験用素材分析用
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特徴
- タイプ
- 電界放出形走査電子
- 応用
- 検査用, 実験用, 素材分析用, 素材用, 地質学用, バッテリー用
- エルゴノミクス
- 正立型
- 顕微鏡のヘッド
- 双眼
- 観察法
- ナノスコープ
- 構成
- 床置き
- 電子源
- ショットキー電界放出
- イオン源
- ガリウム
- 検出器の特徴
- 反射電子, インレンズSE, EBSD
- オプションと付属品
- コンピューター制御式, USB
- その他の特徴
- 高解像度, 高精度, 高増粘性, 超高解像度
- 倍率
1,000,000 unit
- 分解能
0.9 nm, 1.2 nm, 1.9 nm
詳細
CIQTEK SEM4000X FESEM顕微鏡の仕様
電子光学系
分解能 0.9 nm@30 kV, SE
1.2 nm@15 kV、SE
1.9 nm@1 kV、SE
1.5 nm@1 kV (超減速ビーム)
1 nm@15 kV (超減速ビーム)
加速電圧：0.2 kV～30 kV
倍率（ポラロイド）1 ~ 1,000,000 x
電子銃タイプショットキー電界放出電子銃
試料室
カメラデュアルカメラ（オプティカルナビゲーション＋チャンバーモニタリング）
ステージ範囲X: 110 mm
Y: 110 mm
Z: 50 mm
T: -10°~ +70°
R: 360°
SEM検出器とエクステンション
標準レンズ内電子検出器UD-BSE/UD-SE
エバーハートソーンリー検出器LD
オプション後方散乱電子検出器 (BSED)
開閉式走査透過電子顕微鏡検出器(STEM)
低真空検出器 (LVD)
エネルギー分散型分光計（EDS / EDX）
電子後方散乱回折パターン(EBSD)
試料交換用ロードロック（4インチ/8インチ）
トラックボール＆ノブコントロールパネル
ウルトラビーム減速モード技術
CIQTEK SEM4000Xは、安定性、汎用性、柔軟性、効率性に優れたFE-SEMです。様々な試料の高分解能イメージングに対応します。低電圧分解能をさらに向上させるウルトラビーム減速モードにアップグレードすることも可能です。
# 高分解能
# マルチ検出器テクノロジー
# 簡素化されたアライメント
# 高性能プラットフォーム
# 超ビーム減速モード技術
# 優れた拡張性
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