CIQTEK SEM3300 SEM の顕微鏡の指定
*電子光学系
分解能:2.5 nm @ 15 kV、SE
4 nm @ 3 kV、SE
5 nm @ 1 kV、SE
加速電圧: 0.1 kV ~ 30 kV
倍率(ポラロイド):1 x ~ 300,000 x
*試料室
カメラ光学ナビゲーション
チャンバーモニタリング
ステージタイプ5軸真空対応電動ステージ
XYレンジ125ミリメートル
Zレンジ50 mm
Tレンジ: - 10° ~ 90
Rレンジ360°
*SEM検出器
標準インレンズ電子検出器 (Inlens)
エバーハートソーンレー検出器(ETD)
オプションリトラクタブル後方散乱電子検出器(BSED)
エネルギー分散型分光計(EDS / EDX)
電子後方散乱回折パターン (EBSD)
*オプション
試料交換用ロードロック
トラックボール&ノブコントロールパネル
*ユーザーインターフェース
オペレーティングシステムウィンドウズ
ナビゲーションオプティカルナビゲーション、ジェスチャークイックナビゲーション、トラックボール(オプション)
自動機能オートブライトネス&コントラスト、オートフォーカス、オートスティグマータ
CIQTEK SEM3300は、スーパートンネル電子光学系、インレンズ電子検出器、静電・電磁複合対物レンズなどの技術を取り入れた走査型電子顕微鏡(SEM)です。これらの技術をタングステンフィラメント顕微鏡に応用することで、従来SEMの限界であった分解能を超え、電界放出型SEMでしか実現できなかった低電圧分析を可能にしました。
*タングステンフィラメントSEMの分解能限界を突破
*レンズ内電子検出器
*電磁・静電コンボ対物レンズ
*より安全に使用可能
*優れた拡張性
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