熱処理炉 VHT

チャンバーベル誘導

抵抗加熱への代わりとしてConsarcは高温誘導の熱くする真空の炉の広い範囲を提供する。誘導加熱は非常に強い構成で、2500oCへのまたはある特定の困難なプロセス環境例えばCVD/CVIの最も高い温度の適用のために普通好まれる。Consarcの提供は上か下の負荷の誘導加熱の炉を提供する 真空の誘導加熱の炉はグラファイトのsusceptorおよびカーボンによって基づく絶縁材が付いている静的な円柱インダクション・コイルを利用する。