半導体用テストプラットフォーム Hatina 4S

概要
Cosmic の Hatina 4S は、MEMS デバイスおよび磁気センサのウェハソート（WS）および最終検査向けに設計されたコンパクトなモジュール式 ATE プラットフォームです。湿度、圧力、温度センサ、マイクロフォン、磁力計、加速度・ジャイロ向けのツイスト・チルトユニットなどの刺激モジュールをサポートします。アーキテクチャはスケーラブルで、ピンポン方式で最大140サイトの高並列動作が可能、ハンドラや自動化ラインへの統合に適した小さい設置面積を特徴とします。

主な利点

• MEMS と磁気センサの量産試験向けコンパクトモジュール式ソリューション
• 高ピン数の V/I チャネルと動的電源（DPS）
• 高密度のデジタルチャネルと PPMU オプション
• チャネル再利用と柔軟性を実現する統合マルチプレクサ
• 高並列化による低いサイト当たりコスト
• 自動化およびハンドラとの統合が容易

利用可能なバリアント

• Hatina 4S Magnetic — Magneto Board と高磁場生成を備えた刺激システム（コイルレス特許設計）
• Hatina 4S MEMS — MEMS デバイス向け最適化構成（加速度計、ジャイロ、圧力、温度、湿度、ガスセンサ）
• Hatina 4S Microphone — 各サイトに AWG を備えた New Era マイクロフォンシステム（音響モジュール）

製品概要
Hatina 4S は MEMS および磁気センサの高並列生産試験を想定しています。技術的なハイライトには、3D 回転対応のコイルレス特許磁場ジェネレータ（最大 400 ガウス）、最大 75 dB SNR、140 dB SPL を実現するマイクロフォン試験機能、20 dB 未満のノイズフロア、0.1 dB 未満の振幅精度、−40 °C 〜 +180 °C の気候チャンバー対応、並列マルチサイト試験を可能にする加速度/ジャイロモジュールなどが含まれます。プラットフォームはコンパクトな設置、構成可能性、および多サイト化によるユニットあたり試験コストの低減を重視しています。

技術仕様

• 寸法（D×W×H）：330 mm × 360 mm × 538 mm
• 最大並列度：最大 140 サイトまでスケーラブル（ピンポン方式）
• 磁気バリアント：3D 回転対応のコイルレス特許磁場ジェネレータ、最大 400 Gauss
• マイク性能：最大 75 dB SNR；140 dB SPL；ノイズフロア < 20 dB；振幅精度 < 0.1 dB
• 気候チャンバー対応：動作範囲 −40 °C 〜 +180 °C
• Analog / Power (Hatina 4S)：8 DCS @ 1 A sources、256 ポジションのマルチプレクサ
• Analog / Power (Hatina 4S Magnetic)：最大 40 DCS_MP；電圧レンジ ±1 V、±3 V、±5 V、±10 V；-10 V/+30 V；-10 V/+55 V；電流レンジ：20 µA、200 µA、2 mA、20 mA、4 A
• デジタルチャネル & PPMU (Hatina 4S)：48 デジタルチャネル & PPMU_60mA sources マルチプレクサ 256 ポジション + 20 デジタルチャネル（無マルチプレクサ）– 16 PPMU（無マルチプレクサ）
• デジタルチャネル & PPMU (Hatina 4S MEMS)：最大 320 デジタルチャネル；最大 192 PPMU
• New Era board (Microphone)：最大 24 モジュール — 1 モジュール = 20 デジタルチャネル + アナログ部（16 PPMU）
• Microphone64 board (Microphone variant)：最大 8 オーディオモジュールでデジタル & アナログ MEMS マイクをテスト、各サイトに AWG
• Rate table：制御対応（MEMS バリアント）
• JIG / インターフェース：ソケットボード、Magneto PCB、リファレンスボード（磁気バリアント）
• システム構成：HATINA テスター、ロードボードとケーブルセット、インターフェース／ジグ（ソケットボード、magneto board、reference board）